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Información Básica.
Descripción de Producto
FMM501 el controlador de flujo de masa se utiliza para la medición y el control precisos del flujo de masa de gas. Desempeñan un papel importante en la investigación y producción científica en los campos de la industria de semiconductores y circuitos integrados, materiales especiales, industria química, industria, medicina, protección ambiental y lámparas de vacío. Las aplicaciones típicas incluyen: Equipos de proceso electrónico, como difusión, epitaxia, ECV, oxidación, plasma, espumación, implantación de iones; y equipo de revestimiento, fusión de fibra óptica, Dispositivo de microreacción, sistema de distribución de gases mixtos, medición capilar cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos.
Indicadores técnicos | MFC | MFM |
Rango | 2SCCM-300SLM | |
Precisión | ±1% F.S | |
Temperatura ±1ºC. | ||
Lineal | ±0,5% F.ºC | |
Repetibilidad | 0,2% F.ºC | |
Tiempo de respuesta | <2s | <1s |
Analógico | 0-5V/4-20mA | |
Comunicación | RS485 Modbus RTU | |
Fuente de alimentación | ±15V/24V | |
Temperatura de trabajo | 0-50ºC. | |
Presión diferencial | DP: 0,05-1,0MPa | Pulse DROP: <30Kpa |
Presión máxima | 3Mpa/10Mpa | |
Conexión eléctrica | DB15 | |
Tasa de fuga | 1×10-8 SCCSHe | |
Temp. C. | ±0,015% F.S/ºC | |
Material base | 316 SST | |
Sellado | PTFE/CR/NBR | |
Montaje | 1/4" 3/8" 6mm 10mm |
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